تطبيق ومزايا التكنولوجيا الهوائية في تصنيع الرقائق

في عملية تصنيع الرقائق ، تعد الدقة والنظافة والأتمتة من العوامل الرئيسية التي تؤثر على جودة الإنتاج. تم استخدام التكنولوجيا الهوائية على نطاق واسع في العديد من روابط تصنيع الرقائق بسببها خالية من التلوث ، والاستجابة السريعة ، والتحكم السهل. سواء في معالجة الرقاقة أو التحكم الدقيق في تدفق الهواء أو التنظيف والتعبئة والعمليات الأخرى ، تلعب التكنولوجيا الهوائية دورًا لا غنى عنه. ستستكشف هذه المقالة التطبيقات الأساسية للتكنولوجيا الهوائية في تصنيع الرقائق ومزاياه الرئيسية.

 

التطبيق الأساسي للتكنولوجيا الهوائية في تصنيع الرقائق

1. معالجة الرقاقة ونقلها الآلي

تتطلب بيئة تصنيع الرقائق نظافة عالية للغاية (بيئة غرفة نظيفة) ، وطرق المناولة الميكانيكية التقليدية عرضة لتلوث الجسيمات. يحقق النظام الهوائي التعامل بدون تلامس من خلال امتصاص الفراغ ، ونقل تعليق الهواء وطرق أخرى ، وتجنب تلف الإجهاد الميكانيكي للرقاقة وتحسين عائد الإنتاج. على سبيل المثال:

كوب شفط الفراغ: يستخدم لفهم ودقة من الرقاقات للحد من تلوث الغبار.

نظام نقل التعليق الجوي: يستخدم تدفق الهواء لتعليق الرقاقات لتحقيق انتقال الاحتكاك وتقليل مخاطر التلوث.

 

2. التحكم في تدفق الغاز الدقيق (الطباعة الحجرية ، الحفر ، الترسب)

يتضمن تصنيع الرقائق خطوات معالجة متعددة على نطاق نانو ، مثل الطباعة الحجرية ، وحفر البلازما ، وترسب فيلم رفيع ، وما إلى ذلك. تلعب التكنولوجيا الهوائية دورًا رئيسيًا في توصيل الغاز ، وتنظيم الضغط ، والتحكم في التدفق ، وما إلى ذلك على سبيل المثال:

صمام تنظيم الضغط الهوائي: يستخدم للتحكم بدقة في تدفق الغاز العملية المطلوب في عملية الحفر والترسب.

نظام توصيل الغاز النظيف للغاية: تأكد من وجود إمدادات مستقرة من الغازات الخاملة (مثل النيتروجين والأرجون) لتجنب التفاعلات الكيميائية من تلويث سطح الرقاقة.

 

3. رقاقة التنظيف والتجفيف

أثناء عملية تصنيع الرقائق ، يجب تنظيف الرقاقات عدة مرات لإزالة الغبار والبقايا الكيميائية. يشمل تطبيق التكنولوجيا الهوائية في التنظيف والتجفيف:

التنظيف بالموجات فوق الصوتية الهوائية: استخدام تأثيرات الانفجار بالموجات فوق الصوتية والفقاعة لتحسين قدرات إزالة الجسيمات.

تجفيف سكين الهواء غير المتصل: باستخدام الهواء النظيف عالي الضغط لتفجير الرطوبة على سطح الرقاقة لتجنب علامات الماء وتحسين النظافة.

 

4. تعبئة الرقائق واختبارها

تعبئة الرقائق هي الخطوة الأخيرة في عملية التصنيع. يمكن استخدام الأنظمة الهوائية لتسليم مواد التغليف ، والرقوع التلقائي ، واختبار الرقائق والروابط الأخرى. على سبيل المثال:

آلة التغليف الهوائية: استخدم الهواء المضغوط للتحكم في ذراع الروبوت لوضع مادة التغليف بدقة.

التحكم في الضغط الهوائي: خلال مرحلة الاختبار ، تأكد من أن الشريحة تحت الضغط المناسب للتحقق من المتانة والموصلية.

 

مزايا التكنولوجيا الهوائية

لا تلوث ، مناسب لبيئة الغرفة النظيفة

تعتمد الأنظمة الهوائية بشكل أساسي على الهواء المضغوط للعمل ، دون إشراك زيت التشحيم أو الزيت الهيدروليكي ، لذلك لن يكون هناك تلوث الجسيمات ، والذي يفي بالكامل بمتطلبات النهر فائقة لصناعة أشباه الموصلات.

 

دقة عالية واستقرار

يمكن لتكنولوجيا التحكم الهوائية الحديثة أن تعدل بدقة الضغط والتدفق والطهارة الغاز لضمان استقرار كل رابط لمعالجة الرقائق. على سبيل المثال ، يمكن لصمام تنظيم الضغط عالي الدقة التحكم في الضغط ضمن ** ± 0.1 ٪ **.

 

استجابة سريعة ، تحسين كفاءة الإنتاج

لدى المحركات الهوائية (مثل الأسطوانات وأكواب شفط الفراغ) سرعات استجابة سريعة ويمكنها إكمال إجراءات التبديل أو التعامل مع ميلي ثانية ، وتلبية احتياجات إنتاج عالية في تصنيع الرقائق.

 

المتانة القوية وتكلفة الصيانة المنخفضة

بالمقارنة مع الأنظمة الكهربائية أو الهيدروليكية ، تحتوي المكونات الهوائية على بنية بسيطة وتكلفة صيانة منخفضة ، وهي مناسبة لخطوط إنتاج أشباه الموصلات التي تعمل لفترة طويلة وبشدة عالية.

 

سلامة عالية

لن يرتفع النظام الهوائي بسبب التحميل الزائد ، وله أداء جيد للانفجار ، وهو أكثر أمانًا وأكثر موثوقية في بيئة إنتاج أشباه الموصلات.