Применение и преимущества пневматической технологии в производстве чипов

В процессе производства чипов точность, чистота и автоматизация являются ключевыми факторами, влияющими на качество производства. Пневматическая технология широко используется во многих ссылках на производство чипов из-за его беспрепятственной, высокой, быстрой реакции и легкого контроля. Будь то в обработке пластин, точное управление воздушным потоком или чистка, упаковка и другие процессы, пневматическая технология играет незаменимую роль. В этой статье будут изучены основные применения пневматической технологии в производстве чипов и ее основных преимуществах.

 

Основное применение пневматической технологии в производстве чипов

1. Расположение пластин и автоматическая трансмиссия

Среда производства чипов требует чрезвычайно высокой чистоты (среда чистой комнаты), а традиционные методы механической обработки склонны к загрязнению частиц. Пневматическая система достигает бесконтактной обработки посредством адсорбции вакуума, передачи воздушной подвески и других методов, избегая повреждения механического напряжения в пластине и повышая урожайность производства. Например:

Вакуумная чашка всасывания: используется для стабильно и точно схватить и высвобождать пластины, чтобы уменьшить загрязнение пыли.

Система передачи воздушной подвески: использует воздушный поток для приостановки пластин для достижения без трения и снижения рисков загрязнения.

 

2. Контроль точного контроля потока газа (литография, травление, осаждение)

Производство чипов включает в себя множество наномасштабных этапов обработки, таких как литография, травление в плазме, осаждение тонкого пленки и т. Д. Эти процессы требуют чрезвычайно высокой точности управления потоком газа. Пневматическая технология играет ключевую роль в доставке газа, регулировании давления, управлении потоком и т. Д. Например:

Пневматический давление регулирующий клапан: используется для точного управления потоком газа, необходимого в процессе травления и осаждения.

Ультрачистые системы доставки газа: обеспечить стабильную подачу инертных газов (таких как азот и аргон), чтобы избежать химических реакций от загрязнения поверхности чипа.

 

3. Очистка и сушка пластин

В процессе производства чипов необходимо нужно чистить несколько раз для удаления пыли и химических остатков. Применение пневматической технологии при очистке и сушке включает в себя:

Пневматическая ультразвуковая очистка: использование эффектов ультразвукового и разрыва пузырьков для улучшения возможностей удаления частиц.

Неконтактная сушка воздушного ножа: использование чистого воздуха высокого давления для выдувания влаги на поверхности пластины, чтобы избежать водных знаков и улучшить чистоту.

 

4. Упаковка и тестирование чипов

Чип -упаковка является последним шагом в производственном процессе. Пневматические системы могут использоваться для доставки упаковочного материала, автоматического исправления, тестирования чипов и других ссылок. Например:

Пневматическая упаковочная машина: используйте сжатый воздух, чтобы управлять рычагом робота, чтобы точно разместить упаковочный материал.

Пневматическое управление давлением: на этапе тестирования убедитесь, что чип находится под надлежащим давлением, чтобы проверить его долговечность и проводимость.

 

Преимущества пневматической технологии

Нет загрязнения, подходящее для чистой комнаты

Пневматические системы в основном полагаются на сжатый воздух для работы без смазочного масла или гидравлического масла, поэтому не будет никакого загрязнения частиц, что полностью соответствует ультрачистым требованиям полупроводниковой промышленности.

 

Высокая точность и стабильность

Современная технология пневматического управления может точно отрегулировать давление, поток и чистоту газа, чтобы обеспечить стабильность каждого канала обработки чипа. Например, регулирующий клапан с высоким разрешением может контролировать давление в пределах ** ± 0,1%**.

 

Быстрый ответ, повышение эффективности производства

Пневматические приводы (такие как цилиндры и вакуумные всасывающие чашки) имеют быстрые скорости отклика и могут завершить действия по переключению или обработке в миллисекундах, отвечающие потребностям производства с высоким ими в производстве чипов.

 

Сильная долговечность и низкая стоимость технического обслуживания

По сравнению с электрическими или гидравлическими системами, Пневматические компоненты имеют простую структуру и низкую стоимость технического обслуживания и подходят для полупроводниковых производственных линий, которые работают в течение длительного времени и при высокой интенсивности.

 

Высокая безопасность

Пневматическая система не будет перегреться из-за перегрузки и обладает хорошей эффективностью, защищенной от взрыва, которая является более безопасной и более надежной в производственной среде полупроводника.