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Vues: 20 Auteur: Éditeur de site Temps de publication: 2025-09-04 Origine: Site
Dans le processus de fabrication des puces, la précision, la propreté et l'automatisation sont des facteurs clés affectant la qualité de la production. La technologie pneumatique a été largement utilisée dans de nombreux liens de la fabrication de puces en raison de sa pollution, de haute précision, de réponse rapide et de contrôle facile. Que ce soit dans la manipulation des plaquettes, le contrôle du flux d'air de précision ou le nettoyage, l'emballage et d'autres processus, la technologie pneumatique joue un rôle indispensable. Cet article explorera les applications de base de la technologie pneumatique dans la fabrication de puces et ses principaux avantages.
1. Manipulation des plaquettes et transmission automatisée
L'environnement de fabrication des puces nécessite une propreté extrêmement élevée (environnement de salle blanche) et les méthodes traditionnelles de manipulation mécanique sont sujettes à la contamination des particules. Le système pneumatique atteint une manipulation sans contact par adsorption de vide, transmission de suspension aérienne et autres méthodes, évitant les dommages mécaniques sur les contraintes à la tranche et améliorant le rendement de production. Par exemple:
Aspiration sous vide: Utilisé pour saisir et libérer avec précision et libérer les plaquettes pour réduire la pollution par la poussière.
Système de transfert de suspension aérienne: utilise le flux d'air pour suspendre les plaquettes à faire pour atteindre la transmission sans friction et réduire les risques de contamination.
2. Contrôle de débit de gaz de précision (lithographie, gravure, dépôt)
La fabrication de puces implique plusieurs étapes de traitement de plusieurs nano-échelles, telles que la lithographie, la gravure du plasma, le dépôt en couches minces, etc. Ces processus nécessitent une précision de contrôle du flux de gaz extrêmement élevé. La technologie pneumatique joue un rôle clé dans la livraison de gaz, la régulation de la pression, le contrôle du débit, etc. Par exemple:
Valve de régulation de pression pneumatique: Utilisé pour contrôler avec précision le flux de gaz de processus requis dans le processus de gravure et de dépôt.
Système d'administration de gaz ultra-nettoyé: assurez-vous un approvisionnement stable en gaz inertes (comme l'azote et l'argon) pour éviter les réactions chimiques en contaminant la surface de la puce.
3. Nettoyage et séchage de la plaquette
Pendant le processus de fabrication des puces, les plaquettes doivent être nettoyées plusieurs fois pour éliminer la poussière et les résidus chimiques. L'application de la technologie pneumatique dans le nettoyage et le séchage comprend:
Nettoyage à ultrasons pneumatique: utilisant des effets d'éclatement à ultrasons et à bulles pour améliorer les capacités d'élimination des particules.
Séchage au couteau à air sans contact: utiliser de l'air propre à haute pression pour souffler l'humidité sur la surface de la plaquette pour éviter les marques d'eau et améliorer la propreté.
4. Emballage et test de puces
L'emballage de puces est la dernière étape du processus de fabrication. Les systèmes pneumatiques peuvent être utilisés pour la livraison de matériaux d'emballage, le correctif automatique, les tests de puces et d'autres liens. Par exemple:
Machine d'emballage pneumatique: utilisez de l'air comprimé pour contrôler le bras du robot pour placer avec précision le matériau d'emballage.
Contrôle de la pression pneumatique: Pendant la phase de test, assurez-vous que la puce est sous pression appropriée pour vérifier sa durabilité et sa conductivité.
Pas de pollution, adaptée à un environnement de chambre propre
Haute précision et stabilité
La technologie de contrôle pneumatique moderne peut ajuster avec précision la pression, le débit et la pureté du gaz pour assurer la stabilité de chaque lien de traitement des puces. Par exemple, une soupape de régulation de pression de haute précision peut contrôler la pression dans ** ± 0,1% **.
Réponse rapide, améliorez l'efficacité de la production
Les actionneurs pneumatiques (tels que les cylindres et les sous-tasses sous vide) ont des vitesses de réponse rapides et peuvent effectuer des actions de commutation ou de manipulation en millisecondes, en répondant aux besoins de la production élevée dans la fabrication de puces.
Durabilité forte et coût à faible entretien
Par rapport aux systèmes électriques ou hydrauliques, Les composants pneumatiques ont une structure simple et un faible coût d'entretien, et conviennent aux lignes de production de semi-conducteurs qui fonctionnent pendant longtemps et à une intensité élevée.
Sécurité élevée
Le système pneumatique ne surchauffera pas en raison de la surcharge et possède de bonnes performances résistantes à l'explosion, ce qui est plus sûr et plus fiable dans l'environnement de production de semi-conducteurs.
