Vues : 20 Auteur : Éditeur du site Heure de publication : 2025-09-04 Origine : Site
Dans le processus de fabrication des puces, la précision, la propreté et l’automatisation sont des facteurs clés affectant la qualité de la production. La technologie pneumatique a été largement utilisée dans de nombreux maillons de la fabrication de puces en raison de sa réponse non polluante, de haute précision, rapide et de son contrôle facile. Qu'il s'agisse de la manipulation de plaquettes, du contrôle précis du flux d'air ou du nettoyage, de l'emballage et d'autres processus, la technologie pneumatique joue un rôle indispensable. Cet article explorera les principales applications de la technologie pneumatique dans la fabrication de puces et ses principaux avantages.
1. Manipulation des plaquettes et transmission automatisée
L'environnement de fabrication des puces nécessite une propreté extrêmement élevée (environnement de salle blanche) et les méthodes de manipulation mécanique traditionnelles sont sujettes à la contamination par des particules. Le système pneumatique permet une manipulation sans contact grâce à l'adsorption sous vide, à la transmission par suspension pneumatique et à d'autres méthodes, évitant ainsi les dommages dus aux contraintes mécaniques sur la tranche et améliorant le rendement de production. Par exemple:
Ventouse sous vide : utilisée pour saisir et libérer les plaquettes de manière stable et précise afin de réduire la pollution par la poussière.
Système de transport par suspension pneumatique : utilise le flux d'air pour suspendre les plaquettes afin d'obtenir une transmission sans friction et de réduire les risques de contamination.
2. Contrôle précis du débit de gaz (lithographie, gravure, dépôt)
La fabrication de puces implique plusieurs étapes de traitement à l'échelle nanométrique, telles que la lithographie, la gravure au plasma, le dépôt de couches minces, etc. Ces processus nécessitent une précision de contrôle du débit de gaz extrêmement élevée. La technologie pneumatique joue un rôle clé dans l'acheminement du gaz, la régulation de la pression, le contrôle du débit, etc. Par exemple :
Vanne de régulation de pression pneumatique : utilisée pour contrôler avec précision le débit de gaz de procédé requis dans le processus de gravure et de dépôt.
Système de distribution de gaz ultra-propre : assure un approvisionnement stable en gaz inertes (tels que l'azote et l'argon) pour éviter que les réactions chimiques ne contaminent la surface des copeaux.
3. Nettoyage et séchage des plaquettes
Au cours du processus de fabrication des puces, les plaquettes doivent être nettoyées plusieurs fois pour éliminer la poussière et les résidus chimiques. L'application de la technologie pneumatique au nettoyage et au séchage comprend :
Nettoyage pneumatique par ultrasons : utilisation d'effets ultrasoniques et d'éclatement de bulles pour améliorer les capacités d'élimination des particules.
Séchage à la lame d'air sans contact : utilisation d'air propre à haute pression pour éliminer l'humidité sur la surface de la plaquette afin d'éviter les traces d'eau et d'améliorer la propreté.
4. Emballage et tests des puces
Le conditionnement des chips est la dernière étape du processus de fabrication. Les systèmes pneumatiques peuvent être utilisés pour la livraison de matériaux d’emballage, les correctifs automatiques, les tests de puces et d’autres liens. Par exemple:
Machine d'emballage pneumatique : utilisez de l'air comprimé pour contrôler le bras du robot afin de placer avec précision le matériau d'emballage.
Contrôle de la pression pneumatique : pendant la phase de test, assurez-vous que la puce est sous une pression appropriée pour vérifier sa durabilité et sa conductivité.
Aucune pollution, adapté à l'environnement de salle blanche
Haute précision et stabilité
La technologie de contrôle pneumatique moderne peut ajuster avec précision la pression, le débit et la pureté du gaz pour assurer la stabilité de chaque lien de traitement des copeaux. Par exemple, une vanne de régulation de pression de haute précision peut contrôler la pression dans une plage de **±0,1 %**.
Réponse rapide, améliore l'efficacité de la production
Les actionneurs pneumatiques (tels que les vérins et les ventouses à vide) ont des vitesses de réponse rapides et peuvent effectuer des actions de commutation ou de manipulation en quelques millisecondes, répondant ainsi aux besoins de production à haute cadence dans la fabrication de puces.
Forte durabilité et faible coût de maintenance
Par rapport aux systèmes électriques ou hydrauliques, les composants pneumatiques ont une structure simple et un faible coût de maintenance, et conviennent aux lignes de production de semi-conducteurs fonctionnant longtemps et à haute intensité.
Haute sécurité
Le système pneumatique ne surchauffera pas en raison d'une surcharge et présente de bonnes performances antidéflagrantes, ce qui est plus sûr et plus fiable dans l'environnement de production de semi-conducteurs.
