Anwendung und Vorteile der pneumatischen Technologie in der Chipherstellung

Im Chip -Herstellungsprozess sind Präzision, Sauberkeit und Automatisierung Schlüsselfaktoren, die die Produktionsqualität beeinflussen. Die pneumatische Technologie wurde aufgrund ihrer Umweltverschmutzungsfreiheit, hoher Präzision, schneller Reaktion und einfacher Kontrolle in vielen Verbindungen der Chipherstellung häufig eingesetzt. Ob bei Waferhandhabung, Präzisionsluftstromkontrolle oder Reinigung, Verpackung und anderen Prozessen, die pneumatische Technologie spielt eine unverzichtbare Rolle. In diesem Artikel werden die Kernanwendungen der pneumatischen Technologie in der Chipherstellung und deren Hauptvorteile untersucht.

 

Kernanwendung der pneumatischen Technologie in der Chipherstellung

1. Waferhandhabung und automatisiertes Getriebe

Die Chip Manufacturing -Umgebung erfordert eine extrem hohe Sauberkeit (saubere Raumumgebung), und herkömmliche mechanische Handhabungsmethoden sind anfällig für Partikelverunreinigungen. Das pneumatische System erreicht die kontaktlose Handhabung durch Vakuumadsorption, Luftsuspensionsübertragung und andere Methoden, wodurch mechanische Spannungsschäden am Wafer vermieden und die Produktionsausbeute verbessert werden. Zum Beispiel:

Vakuumsaugnetasse: Wird verwendet, um Wafer stabil und genau zu erfassen und freizusetzen, um die Staubverschmutzung zu reduzieren.

Luftaufhängung ständiger System: Verwendet Luftstrom, um Wafer zu suspendieren, um eine reibungslose Übertragung zu erreichen und Kontaminationsrisiken zu verringern.

 

2. Präzisionsgasflusskontrolle (Lithographie, Ätzung, Ablagerung)

Die ChIP-Herstellung umfasst mehrere Verarbeitungsschritte im Nano-Maßstab wie Lithographie, Plasmaetching, Dünnfilmablagerung usw. Diese Prozesse erfordern eine extrem hohe Genauigkeit der Gasflusskontrolle. Die pneumatische Technologie spielt eine Schlüsselrolle bei der Gasabgabe, der Druckregulierung, der Durchflussregelung usw. Zum Beispiel:

Pneumatischer Druckregulierungsventil: Wird verwendet, um den im Radierungs- und Abscheidungsprozess erforderlichen Prozessgasstrom genau zu steuern.

Ultra-Consan-Gasabgabesystem: Stellen Sie eine stabile Versorgung mit inerten Gasen (wie Stickstoff und Argon) sicher, um zu vermeiden, dass chemische Reaktionen die Chipoberfläche kontaminieren.

 

3. Waferreinigung und Trocknen

Während des Chip -Herstellungsprozesses müssen Wafer mehrmals gereinigt werden, um Staub und chemische Rückstände zu entfernen. Die Anwendung der pneumatischen Technologie bei der Reinigung und Trocknung umfasst:

Pneumatische Ultraschallreinigung: Verwenden von Ultraschall- und Blasenburkeneffekten zur Verbesserung der Partikelentfernungsfähigkeiten.

Nichtkontaktluftmessertrocknen: Verwenden von Hochdruckluft, um Feuchtigkeit auf der Waferoberfläche wegzublasen, um Wasserspuren zu vermeiden und die Sauberkeit zu verbessern.

 

4. Chipverpackung und Tests

Die Chipverpackung ist der letzte Schritt im Herstellungsprozess. Pneumatische Systeme können zur Liefermaterialabgabe, zum automatischen Patching, zum Chiptest und anderen Links verwendet werden. Zum Beispiel:

Pneumatische Verpackungsmaschine: Verwenden Sie Druckluft, um den Roboterarm zu steuern, um das Verpackungsmaterial genau zu platzieren.

Pneumatische Druckregelung: Stellen Sie während der Testphase sicher, dass der Chip unter geeignetem Druck steht, um seine Haltbarkeit und Leitfähigkeit zu überprüfen.

 

Vorteile der pneumatischen Technologie

Keine Umweltverschmutzung, geeignet für die saubere Raumumgebung

Pneumatische Systeme sind hauptsächlich auf Druckluft angewiesen, um zu operieren, ohne Schmieröl oder Hydrauliköl einzubeziehen, sodass es keine Partikelverschmutzung gibt, die den ultralrischen Anforderungen der Halbleiterindustrie vollständig erfüllt.

 

Hohe Präzision und Stabilität

Die moderne pneumatische Steuerungstechnologie kann den Druck, den Durchfluss und die Gasreinheit genau einstellen, um die Stabilität jeder Chipverarbeitungsverbindung zu gewährleisten. Beispielsweise kann ein hochpräziser Druckregulierungsventil den Druck innerhalb von ** ± 0,1%** steuern.

 

Schnelle Reaktion, Verbesserung der Produktionseffizienz

Pneumatische Aktuatoren (z. B. Zylinder und Vakuumsaugnetassen) haben schnelle Reaktionsgeschwindigkeiten und können die Schalt- oder Handhabungsaktionen in Millisekunden vervollständigen und die Bedürfnisse der Produktion mit hoher Beat in der Chipherstellung erfüllen.

 

Starke Haltbarkeit und niedrige Wartungskosten

Im Vergleich zu elektrischen oder hydraulischen Systemen,, Pneumatische Komponenten haben eine einfache Struktur und eine geringe Wartungskosten und eignen sich für Halbleiterproduktionslinien, die lange und hohe Intensität funktionieren.

 

Hohe Sicherheit

Das pneumatische System wird aufgrund von Überlastung nicht überhitzt und verfügt über eine gute explosionssichere Leistung, die in der Halbleiterproduktionsumgebung sicherer und zuverlässiger ist.