Zastosowanie i zalety technologii pneumatycznej w produkcji chipów

W procesie produkcji chipów precyzja, czystość i automatyzacja są kluczowymi czynnikami wpływającymi na jakość produkcji. Technologia pneumatyczna jest szeroko stosowana w wielu ogniwach produkcji chipów ze względu na brak zanieczyszczeń, wysoką precyzję, szybką reakcję i łatwą kontrolę. Niezależnie od tego, czy chodzi o obsługę wafli, precyzyjną kontrolę przepływu powietrza, czy czyszczenie, pakowanie i inne procesy, technologia pneumatyczna odgrywa niezastąpioną rolę. W tym artykule omówione zostaną podstawowe zastosowania technologii pneumatycznej w produkcji chipów i jej główne zalety.

 

Podstawowe zastosowanie technologii pneumatycznej w produkcji chipów

1. Obsługa płytek i automatyczna skrzynia biegów

Środowisko produkcji chipów wymaga wyjątkowo wysokiej czystości (środowisko czyste), a tradycyjne metody mechanicznej obsługi są podatne na zanieczyszczenie cząstkami stałymi. Układ pneumatyczny zapewnia bezdotykową obsługę dzięki adsorpcji próżniowej, przenoszeniu zawieszenia pneumatycznego i innym metodom, co pozwala uniknąć mechanicznego uszkodzenia płytki naprężeniowej i poprawia wydajność produkcji. Na przykład:

Przyssawka próżniowa: służy do stabilnego i dokładnego chwytania i uwalniania płytek w celu zmniejszenia zanieczyszczenia pyłem.

System przenoszenia z zawieszeniem pneumatycznym: wykorzystuje przepływ powietrza do zawieszania płytek, aby uzyskać transmisję bez tarcia i zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia.

 

2. Precyzyjna kontrola przepływu gazu (litografia, trawienie, osadzanie)

Produkcja chipów obejmuje wiele etapów przetwarzania w skali nano, takich jak litografia, trawienie plazmowe, osadzanie cienkich warstw itp. Procesy te wymagają niezwykle dużej dokładności kontroli przepływu gazu. Technologia pneumatyczna odgrywa kluczową rolę w dostarczaniu gazu, regulacji ciśnienia, kontroli przepływu itp. Na przykład:

Pneumatyczny zawór regulujący ciśnienie: używany do dokładnej kontroli przepływu gazu procesowego wymaganego w procesie trawienia i osadzania.

Ultra czysty system dostarczania gazu: zapewnia stabilny dopływ gazów obojętnych (takich jak azot i argon), aby uniknąć reakcji chemicznych powodujących zanieczyszczenie powierzchni wióra.

 

3. Oczyszczenie i suszenie wafli

Podczas procesu produkcji chipów płytki należy wielokrotnie czyścić, aby usunąć kurz i pozostałości środków chemicznych. Zastosowanie technologii pneumatycznej w czyszczeniu i suszeniu obejmuje:

Pneumatyczne czyszczenie ultradźwiękowe: wykorzystanie efektów ultradźwiękowych i pękania pęcherzyków w celu poprawy możliwości usuwania cząstek.

Bezdotykowe suszenie nożem powietrznym: użycie czystego powietrza pod wysokim ciśnieniem do wydmuchania wilgoci z powierzchni płytki, aby uniknąć śladów wody i poprawić czystość.

 

4. Pakowanie i testowanie chipów

Pakowanie chipsów to ostatni etap procesu produkcyjnego. Systemy pneumatyczne mogą być stosowane do dostarczania materiałów opakowaniowych, automatycznego łatania, testowania chipów i innych łączy. Na przykład:

Pneumatyczna maszyna pakująca: Użyj sprężonego powietrza do sterowania ramieniem robota, aby dokładnie umieścić materiał opakowaniowy.

Pneumatyczna kontrola ciśnienia: Podczas fazy testowania upewnij się, że chip znajduje się pod odpowiednim ciśnieniem, aby sprawdzić jego trwałość i przewodność.

 

Zalety technologii pneumatycznej

Brak zanieczyszczeń, odpowiedni do pomieszczeń czystych

Działanie układów pneumatycznych opiera się głównie na sprężonym powietrzu, bez użycia oleju smarowego lub oleju hydraulicznego, więc nie będzie zanieczyszczeń cząstkami stałymi, co w pełni spełnia wymagania ultraczystego przemysłu półprzewodników.

 

Wysoka precyzja i stabilność

Nowoczesna technologia sterowania pneumatycznego może dokładnie regulować ciśnienie, przepływ i czystość gazu, aby zapewnić stabilność każdego łącza przetwarzającego wióry. Na przykład bardzo precyzyjny zawór regulujący ciśnienie może regulować ciśnienie w zakresie **±0,1%**.

 

Szybka reakcja, poprawa wydajności produkcji

Siłowniki pneumatyczne (takie jak cylindry i przyssawki próżniowe) charakteryzują się dużą szybkością reakcji i mogą zakończyć czynności przełączania lub obsługi w ciągu milisekund, spełniając potrzeby produkcji o dużej częstotliwości w produkcji chipów.

 

Wysoka trwałość i niskie koszty konserwacji

W porównaniu z systemami elektrycznymi lub hydraulicznymi, elementy pneumatyczne mają prostą konstrukcję i niskie koszty utrzymania i nadają się do linii produkcyjnych półprzewodników, które pracują przez długi czas i z dużą intensywnością.

 

Wysokie bezpieczeństwo

Układ pneumatyczny nie przegrzeje się z powodu przeciążenia i ma dobre właściwości przeciwwybuchowe, co jest bezpieczniejsze i bardziej niezawodne w środowisku produkcji półprzewodników.