Zastosowanie i zalety technologii pneumatycznej w produkcji układów

W procesie produkcji chipów precyzja, czystość i automatyzacja są kluczowymi czynnikami wpływającymi na jakość produkcji. Technologia pneumatyczna była szeroko stosowana w wielu linkach produkcji chipów ze względu na wolne od zanieczyszczenia, bardzo precyzyjne, szybką reakcję i łatwą kontrolę. Niezależnie od tego, czy w obsłudze opłat, precyzyjnej kontroli przepływu powietrza lub czyszczenia, opakowania i innych procesów, technologia pneumatyczna odgrywa niezbędną rolę. W tym artykule zbadano podstawowe zastosowania technologii pneumatycznej w produkcji chipów i jej główne zalety.

 

Podstawowe zastosowanie technologii pneumatycznej w produkcji chipów

1. Obsługa opłat i zautomatyzowana skrzynia biegów

Środowisko produkcji chipów wymaga wyjątkowo wysokiej czystości (środowisko czystego pomieszczenia), a tradycyjne metody obsługi mechanicznej są podatne na zanieczyszczenie cząstek. Układ pneumatyczny osiąga obsługę kontaktów poprzez adsorpcję próżniową, transmisję zawiesiny powietrza i inne metody, unikając mechanicznego uszkodzenia stresu i poprawa wydajności produkcji. Na przykład:

Puchar ssania próżniowej: stosowany do stabilnego i dokładnego uchwycenia i uwalniania płytek w celu zmniejszenia zanieczyszczenia pyłu.

System przekazywania zawieszenia powietrza: Używa przepływu powietrza do zawieszenia waflów, aby osiągnąć transmisję bez tarcia i zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia.

 

2. Precyzyjna kontrola przepływu gazu (litografia, trawienie, osadzanie)

Produkcja chipów obejmuje wiele etapów przetwarzania w skali nano, takich jak litografia, trawienie w osoczu, osadzanie się cienkiego warstwy itp. Procesy te wymagają wyjątkowo wysokiej dokładności kontroli przepływu gazu. Technologia pneumatyczna odgrywa kluczową rolę w dostarczaniu gazu, regulacji ciśnienia, kontroli przepływu itp. Na przykład:

Zawór regulacyjny ciśnienia pneumatycznego: stosowany do dokładnego kontrolowania przepływu gazu wymaganego w procesie trawienia i osadzania.

Ultra-czyszczenie systemu dostarczania gazu: Upewnij się stabilne dostawy gazów obojętnych (takich jak azot i argon), aby uniknąć reakcji chemicznych z zanieczyszczenia powierzchni układu.

 

3. Czyszczenie i suszenie opłatek

Podczas procesu produkcji chipów wafle muszą być wielokrotnie czyszczone, aby usunąć pył i pozostałości chemiczne. Zastosowanie technologii pneumatycznej w czyszczeniu i suszeniu obejmuje:

Pneumatyczne czyszczenie ultradźwiękowe: Zastosowanie efektów ultradźwiękowych i pęknięcia pęcherzyków w celu poprawy możliwości usuwania cząstek.

Suszenie noża powietrza bezkontaktowego: Używanie czystego powietrza o wysokim ciśnieniu do wysadzenia wilgoci na powierzchni opłat, aby uniknąć znaków wody i poprawić czystość.

 

4. Opakowanie i testowanie układów

Opakowanie układów to ostatni krok w procesie produkcyjnym. Systemy pneumatyczne mogą być używane do pakowania dostarczania materiałów, automatycznego łatania, testowania układów i innych linków. Na przykład:

Pneumatyczna maszyna do opakowania: Użyj sprężonego powietrza, aby kontrolować ramię robota, aby dokładnie umieścić materiał opakowania.

Kontrola ciśnienia pneumatycznego: Podczas fazy testowania upewnij się, że układ jest pod odpowiednim ciśnieniem, aby sprawdzić jego trwałość i przewodność.

 

Zalety technologii pneumatycznej

Bez zanieczyszczenia, odpowiednie dla środowiska czystego pokoju

Systemy pneumatyczne opierają się głównie na sprężonym powietrzu do działania, bez angażowania oleju smarowego lub oleju hydraulicznego, więc nie będzie zanieczyszczenia cząstek, które w pełni spełnia ultra czyszczące wymagania przemysłu półprzewodników.

 

Wysoka precyzja i stabilność

Nowoczesna technologia kontroli pneumatycznej może dokładnie dostosować ciśnienie, przepływ i czystość gazu, aby zapewnić stabilność każdego łącza przetwarzania układu. Na przykład zawór regulacji ciśnienia o wysokiej precyzji może kontrolować ciśnienie w obrębie ** ± 0,1%**.

 

Szybka reakcja, poprawiaj wydajność produkcji

Siłowniki pneumatyczne (takie jak cylindry i kubki ssące próżniowe) mają szybkie prędkości reakcji i mogą zakończyć działania przełączania lub obsługi w milisekundach, zaspokajające potrzeby produkcji o wysokiej zawartości zużycia w produkcji chipów.

 

Silna trwałość i niskie koszty konserwacji

W porównaniu z systemami elektrycznymi lub hydraulicznymi, Składniki pneumatyczne mają prostą strukturę i niskie koszty konserwacji i są odpowiednie dla półprzewodników, które działają przez długi czas i przy wysokiej intensywności.

 

Wysokie bezpieczeństwo

System pneumatyczny nie przegrzeje z powodu przeciążenia i ma dobrą wydajność odporną na eksplozję, która jest bezpieczniejsza i bardziej niezawodna w środowisku produkcji półprzewodników.