Toepassing en voordelen van pneumatische technologie in chipproductie

In het chipproductieproces zijn precisie, netheid en automatisering belangrijke factoren die de productiekwaliteit beïnvloeden. Pneumatische technologie is op grote schaal gebruikt in vele links van chipproductie vanwege de vervuilingsvrije, zeer nauwkeurige, snelle respons en gemakkelijke controle. Of het nu gaat om het afhandelen van wafers, precisie luchtstroomcontrole of reiniging, verpakking en andere processen, pneumatische technologie speelt een onmisbare rol. Dit artikel zal de kerntoepassingen van pneumatische technologie in chipproductie en de belangrijkste voordelen ervan onderzoeken.

 

Kerntoepassing van pneumatische technologie in chipproductie

1. Wafelafhandeling en geautomatiseerde transmissie

De chipproductieomgeving vereist een extreem hoge netheid (clean room -omgeving), en traditionele mechanische hanteringsmethoden zijn vatbaar voor deeltjesverontreiniging. Het pneumatische systeem bereikt contactloze hantering door vacuümadsorptie, luchtveringstransmissie en andere methoden, het vermijden van mechanische stressschade aan de wafer en het verbeteren van de productieopbrengst. Bijvoorbeeld:

Vacuümzuigbeker: gebruikt om wafels stabiel en nauwkeurig te begrijpen en vrij te geven om stofvervuiling te verminderen.

Air Suspension Transport System: maakt gebruik van luchtstroom om wafels op te schorten om wrijvingsloze transmissie te bereiken en vervuilingsrisico's te verminderen.

 

2. Precisiebeheerstroomcontrole (lithografie, etsen, afzetting)

ChIP-productie omvat meerdere verwerkingsstappen op nanoschaal, zoals lithografie, plasma-ets, dunne filmafzetting, enz. Deze processen vereisen een extreem hoge gasstroomcontrole-nauwkeurigheid. Pneumatische technologie speelt een sleutelrol bij gasafgifte, drukregeling, stroomregeling, enz. Bijvoorbeeld:

Pneumatische drukregulerende klep: gebruikt om de procesgasstroom van het etsen en de afzettingsproces nauwkeurig te regelen.

Ultra-Clean Gas Delivery System: zorg voor een stabiele toevoer van inerte gassen (zoals stikstof en argon) om chemische reacties te voorkomen door het chipoppervlak te verontreinigen.

 

3. Wafelreiniging en drogen

Tijdens het chipproductieproces moeten wafels meerdere keren worden gereinigd om stof en chemische residuen te verwijderen. De toepassing van pneumatische technologie bij het reinigen en drogen omvat:

Pneumatische ultrasone reiniging: het gebruik van ultrasone en bubble barstende effecten om de deeltjesverwijderingsmogelijkheden te verbeteren.

Non-contact luchtmesdrogen: het gebruik van hoge druk schone lucht om vocht op het wafeloppervlak weg te blazen om watermarkeringen te voorkomen en de netheid te verbeteren.

 

4. Chip -verpakking en testen

ChIP -verpakking is de laatste stap in het productieproces. Pneumatische systemen kunnen worden gebruikt voor het leveren van verpakkingsmateriaal, automatische patching, chiptests en andere links. Bijvoorbeeld:

Pneumatische verpakkingsmachine: gebruik perslucht om de robotarm te regelen om het verpakkingsmateriaal nauwkeurig te plaatsen.

Pneumatische drukregeling: zorg ervoor dat de chip tijdens de testfase onder de juiste druk staat om de duurzaamheid en geleidbaarheid ervan te controleren.

 

Voordelen van pneumatische technologie

Geen vervuiling, geschikt voor een schone kameromgeving

Pneumatische systemen zijn voornamelijk afhankelijk van gecomprimeerde lucht om te werken, zonder smeerolie of hydraulische olie te betrekken, dus er zal geen deeltjesvervuiling zijn, die volledig voldoet aan de ultra-hellende vereisten van de halfgeleiderindustrie.

 

Hoge precisie en stabiliteit

Moderne pneumatische controletechnologie kan de druk, stroming en gaszuiverheid nauwkeurig aanpassen om de stabiliteit van elke chipverwerkingsverbinding te waarborgen. Een hoog-nauwkeurige drukregulerende klep kan bijvoorbeeld de druk binnen ** ± 0,1%** regelen.

 

Snelle reactie, verbetering van de productie -efficiëntie

Pneumatische actuatoren (zoals cilinders en vacuümzuigbekers) hebben snelle responssnelheden en kunnen schakel- of hanteringsacties voltooien in milliseconden, voldoen aan de behoeften van hoogbladenproductie in chipproductie.

 

Sterke duurzaamheid en onderhoudsarme kosten

Vergeleken met elektrische of hydraulische systemen, Pneumatische componenten hebben een eenvoudige structuur en onderhoudsarme kosten en zijn geschikt voor productielijnen voor halfgeleiders die lang werken en bij hoge intensiteit.

 

Hoge veiligheid

Het pneumatische systeem zal niet oververhit raken vanwege overbelasting en heeft goede explosiebestendige prestaties, die veiliger en betrouwbaarder zijn in de semiconductor-productieomgeving.