Applicazione e vantaggi della tecnologia pneumatica nella produzione di chip

Nel processo di produzione del chip, la precisione, la pulizia e l'automazione sono fattori chiave che influenzano la qualità della produzione. La tecnologia pneumatica è stata ampiamente utilizzata in molti collegamenti di produzione di chip grazie alla sua risposta senza inquinamento, ad alta precisione, rapida e facile controllo. Sia nella gestione dei wafer, nel controllo del flusso d'aria di precisione o nella pulizia, l'imballaggio e altri processi, la tecnologia pneumatica svolge un ruolo indispensabile. Questo articolo esplorerà le applicazioni fondamentali della tecnologia pneumatica nella produzione di chip e i suoi principali vantaggi.

 

Applicazione principale della tecnologia pneumatica nella produzione di chip

1. Gestione del wafer e trasmissione automatizzata

L'ambiente di produzione del chip richiede una pulizia estremamente elevata (ambiente di stanza pulita) e i tradizionali metodi di manipolazione meccanica sono soggetti a contaminazione da particelle. Il sistema pneumatico raggiunge la manipolazione senza contatto attraverso l'adsorbimento del vuoto, la trasmissione della sospensione dell'aria e altri metodi, evitando danni da stress meccanico al wafer e migliorando la resa di produzione. Per esempio:

Tappellatura del vuoto: usato per afferrare e rilasciare in modo stabilmente e accuratamente i wafer per ridurre l'inquinamento della polvere.

Sistema di trasporto delle sospensioni aeree: utilizza il flusso d'aria per sospendere i wafer per ottenere la trasmissione senza attrito e ridurre i rischi di contaminazione.

 

2. Controllo del flusso di gas di precisione (litografia, incisione, deposizione)

La produzione di chip prevede molteplici fasi di elaborazione di nano-scala, come litografia, attacco al plasma, deposizione di film sottile, ecc. Questi processi richiedono una precisione di controllo del flusso di gas estremamente elevato. La tecnologia pneumatica svolge un ruolo chiave nella consegna del gas, nella regolazione della pressione, nel controllo del flusso, ecc. Ad esempio:

Valvola di regolazione della pressione pneumatica: utilizzato per controllare accuratamente il flusso di gas di processo richiesto nel processo di incisione e deposizione.

Sistema di erogazione di gas ultra pulito: garantire una fornitura stabile di gas inerti (come azoto e argon) per evitare che le reazioni chimiche contaminino la superficie del chip.

 

3. pulizia e asciugatura del wafer

Durante il processo di produzione del chip, i wafer devono essere puliti più volte per rimuovere la polvere e i residui chimici. L'applicazione della tecnologia pneumatica nella pulizia e nell'essiccazione include:

Pulizia pneumatica ad ultrasuoni: utilizzando effetti di scoppio ad ultrasuoni e bolle per migliorare le capacità di rimozione delle particelle.

Essiccazione a coltello ad aria senza contatto: usando aria pulita ad alta pressione per far esplodere l'umidità sulla superficie del wafer per evitare segni d'acqua e migliorare la pulizia.

 

4. Packaging e test di chip

L'imballaggio CHIP è l'ultimo passo nel processo di produzione. I sistemi pneumatici possono essere utilizzati per la consegna del materiale di imballaggio, patching automatico, test dei chip e altri collegamenti. Per esempio:

Macchina di imballaggio pneumatico: utilizzare aria compressa per controllare il braccio del robot per posizionare accuratamente il materiale di imballaggio.

Controllo della pressione pneumatica: durante la fase di test, assicurarsi che il chip sia sotto pressione adeguata per verificarne la durata e la conducibilità.

 

Vantaggi della tecnologia pneumatica

Nessun inquinamento, adatto per l'ambiente della stanza pulita

I sistemi pneumatici si basano principalmente sull'aria compressa per funzionare, senza coinvolgere olio lubrificante o olio idraulico, quindi non vi sarà inquinamento da particelle, che soddisfa pienamente le esigenze ultra-pulite del settore dei semiconduttori.

 

Alta precisione e stabilità

La moderna tecnologia di controllo pneumatico può regolare accuratamente la pressione, il flusso e la purezza del gas per garantire la stabilità di ciascun collegamento di elaborazione del chip. Ad esempio, una valvola di regolazione della pressione ad alta precisione può controllare la pressione entro ** ± 0,1%**.

 

Risposta rapida, migliora l'efficienza della produzione

Gli attuatori pneumatici (come i cilindri e le aspirazioni a vuoto) hanno velocità di risposta rapide e possono completare le azioni di commutazione o gestione di millisecondi, soddisfacendo le esigenze della produzione ad alto numero nella produzione di chip.

 

Forte durata e bassi costi di manutenzione

Rispetto ai sistemi elettrici o idraulici, I componenti pneumatici hanno una struttura semplice e bassi costi di manutenzione e sono adatti per le linee di produzione dei semiconduttori che operano a lungo e ad alta intensità.

 

Alta sicurezza

Il sistema pneumatico non si surriscalderà a causa del sovraccarico e ha buone prestazioni a prova di esplosione, che è più sicuro e più affidabile nell'ambiente di produzione dei semiconduttori.